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我司的微小液體流量的控制器采用科里奧利原理，結(jié)合電磁比例閥，內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)，實現(xiàn)了自動控制流量的功能。其內(nèi)部包含一個獨特形狀的單回路傳感器，構(gòu)成振蕩系統(tǒng)的一部分。當(dāng)流體流經(jīng)傳感器回路，科里奧利力引起可變相移，傳感器檢測到該相移并傳輸?shù)郊?..

我司層流差壓式原理的質(zhì)量流量計/流量控制器，通過流體經(jīng)過節(jié)流元件時，產(chǎn)生的壓力差來計算流量，產(chǎn)品內(nèi)置有高精密層流元件，與電磁比例調(diào)節(jié)閥配合使用，內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能，實現(xiàn)對流量的精確控制。當(dāng)流體從管道流經(jīng)節(jié)流元件時，流速增加，靜壓降低，從而在...

在薄膜制作工藝中，某些金屬有機化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（760Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學(xué)和液體輸送。某些固體前...

我司液體壓力控制器配備了高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus、Profinet等協(xié)議。案例參數(shù)：介質(zhì)：液體、入口壓力：22M...

我司的壓力控制器為直通式設(shè)計，量程范圍從100Pa到40MPA（絕壓和表壓皆可）。此外，還可提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量...

質(zhì)量流量控制器（MFC）的毫秒級響應(yīng)能力，源于其內(nèi)部一個高度集成和優(yōu)化的閉環(huán)控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)的核心目標(biāo)是讓氣體的實際流量瞬時且精確地跟蹤設(shè)定值，其邏輯是一個持續(xù)運行的“測量-比較-校正”微循環(huán)。一、閉環(huán)控制邏輯的核心環(huán)節(jié)測量：MFC采用熱式...